無油真空泵屬于無油類真空泵常用產(chǎn)品之一，由于不再使用密封液，工作時也不用添加任何真空油，大大提升了所排出空氣的質(zhì)量，還有一個顯著的特點就是在運作時發(fā)出的噪音非常小，不對環(huán)境造成任何影響。

　　

　　無油真空泵由定子、轉(zhuǎn)子、旋片、缸體、電機等主要零件組成。帶有旋片的轉(zhuǎn)子，偏心地安裝在定缸內(nèi)，當轉(zhuǎn)子高速旋轉(zhuǎn)時，氣體通過進氣管進入過濾消音器內(nèi)進行過濾，達到靜音的效果，轉(zhuǎn)子槽內(nèi)四個徑向滑動旋片將泵腔分隔成四個工作室，由于離心力作用，旋片緊貼在缸壁，把定子進排出口分離開來，周而復(fù)始運轉(zhuǎn)，進行變?nèi)?，將吸入氣體，從排氣口排出，從而達到抽氣目的。

　　

　　無油真空泵特點：

　　

　　1、該產(chǎn)品無需任何工作介質(zhì)（無油）可產(chǎn)生潔凈的真空，不產(chǎn)生污染，生產(chǎn)過程中采用新技術(shù)和新材料。

　　

　　2、便于攜帶，移動方便，工作流暢。采用無油潤滑，活塞結(jié)構(gòu)，比普通隔膜泵使用壽命更長久。

　　

　　3、泵體電機采用耐受性能更好的全銅電機，可保證長久的連續(xù)工作和運轉(zhuǎn)。

　　

　　4、*的壓力可調(diào)式設(shè)計，可滿足一定范圍內(nèi)的真空度和氣體流速。

　　

　　5、采用進口軸承，運轉(zhuǎn)平滑，無噪音，使用壽命長久，工作效率高。

　　

　　6、機身外殼采用合金材料一體式壓鑄成型，保證外觀的整潔和散熱性能。

　　

　　7、可選配防腐空氣過濾器，避免腐蝕性氣體對泵體配件的損壞，有效防腐蝕。

　　

　　常見應(yīng)用領(lǐng)域：

　　

　　1、低壓化學(xué)氣相沉積中的多晶硅制備工藝中。

　　

　　2、半導(dǎo)體刻蝕工藝。在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒。

　　

　　3、除半導(dǎo)體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝，不希望微?；烊氡糜椭?，而希望微粒排出泵外，則用一定型式的干式機械真空泵可以滿足要求。

　　

　　4、無油真空泵在化學(xué)工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等，要防止有機溶劑造成污染，適合用干式真空泵。